中微公司 ICP 刻蚀设备 Primo nanova 第 100 台反应腔交付

时间:2021-06-16 17:22

2021/6/13 22:13:35来源：IT之家作者：懒猫责编：懒猫

IT之家 6 月 13 日消息从中微公司获悉，6 月 9 日，中微半导体设备（上海）股份有限公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备 Primo nanova 第 100 台反应腔交付客户庆祝仪式。